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> 中心偏测量
总装调对心干涉仪的设计与测量精度分析
作者:
叶露
韩昌元
来源:
光学技术
日期: 2023-06-26
人气:20
为了满足大口径光学系统各分立元件的高精度对心要求,设计制造了总装调对心干涉仪。介绍了仪器的工作原理及关键结构工艺,并对影响偏心测量的因素进行了讨论。仪器的测量精度同被测镜的曲率半径及两测量点的间距有关。当被测镜的曲率半径小于1.5 m、两测量点的间距为500 mm时,其偏心测量精度小于1μm,仪器的测量偏心角度的最小格值达0.12″。
关键词:
中心偏测量
精度
干涉仪
光学系统
设计
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