在扫描探针纳米加工技术的基础上,提出了利用原子力显微镜（AFM）来制作高频光栅的新工艺.利用AFM硅制探针,在接触模式下对光盘（聚碳酸酯材料）进行刻划试验.对刻划光栅的工艺参数进行优化,得到了纳米量级光栅.并将刻划所得光栅应用于数字云纹法,与数字参考栅干涉形成微/纳米数字云纹.实验结果表明,该法所制得的光栅可以应用于实际变形的测量.

为了探索在纳米尺度加工微纳米结构，MEMS／NEMS器件的新的加工方法，采用基于AFM改造的微加工系统，研究了探针机械刻划机理，分析了工作台的定位精度，AFM的工作模式，探针形状等因素的影响．以复杂字体“哈工大”为例说明了微纳米结构轮廓坐标的获得，并加工了实例．同时还给出了齿轮形状，各种复杂二维结构的加工实例．结果表明采用AFM探针机械刻划技术可以应用在微纳米尺度结构的加工领域．