分析了超声马达的运行机理、椭圆运动的生成过程以及超声马达的结构和性能.通过对三相驱动的平板弯曲超声马达的研究,论证了弯曲振动行波形成的条件.结果表明,三个相位差为120°的振动波也可以合成椭圆振动.

以自行研制的基于径向伸缩模态的超声波粉体输送装置为例，阐述了超声波粉体输送装置的结构和输送机理。分析了这种新型粉体装置具有结构简单、易于控制、适于定量输送少量或微量粉体的特点，并根据细管振动模态的不同对超声粉体输送装置进行了分类，介绍了研究现状及其应用前景，指出了目前存在一些主要问题及今后的研究方向。