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恒压式气体微流量计测控系统的设计
作者:
冯焱
成永军
赵定众
张涤新
李得天
来源:
真空
日期: 2023-08-20
人气:10
介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案,对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围和不确定度均优于设计指标。
关键词:
恒压式气体微流量计
测控系统
系统设计
不确定度
真空规
真空漏孔
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