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波差与表面斜率误差评价方法的讨论
作者:
余景池
郭培基
孙侠菲
丁泽钊
来源:
安徽建筑
日期: 2024-05-16
人气:20
对用波差与表面斜率误差评价光学元件面形误差的方法进行了比较和讨论.以具有不同面形精度的光学元件,在不同的数据处理方法下得到的结果为例,说明此两种面形评价方法在数据处理方法不同时在数值上的联系.
关键词:
波差
斜率误差
面形评价
光学元件
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