新研制了一种大量程光学共焦跟踪式非接触三维弹头痕迹检测仪，介绍了这个测量系统的原理、结构、控制以及实验结果。该系统采用了光学共焦跟踪式微位移器，垂直分辨率为０．０１μｍ，测量范围为±２００μｍ，通过量程扩展到±１０００μｍ，它的圆周分辨率为５０”，轴向步距为１．２５μｍ。另外，还采用光学聚焦测量方法的某些措施和数字伺服来克服光学共焦跟踪式微位移传感器的短处，即形貌垂直方向的允许阶跃变化量从每步±２