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> 扫描模型
波长扫描光纤干涉仪扫描模型的建立及分析
作者:
王勇
廖延彪
田芊
来源:
红外与毫米波学报
日期: 2024-04-30
人气:19
介绍了一种瓣的可用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪,建立了测量系统及波长扫描的模型,分析了波长扫描的随机漂移对测量的影响,提出了对光源扫描性能的要求,实验结果表明,测量系统的精度可达到0.05μm。
关键词:
光纤干涉仪
波长扫描
距离
扫描模型
干涉仪
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