对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。

在微机电系统（MEMS）微构件动态特性的测试中，激励是基本环节，通过激励使微构件振动，并测量和分析振动响应信号，实现对微构件动态特性的测试。由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高，限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用。目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法，根据实现激励的方式不同，归纳为三类：利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法，具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点，并对各种激励方法的特点进行了比较和分析。