在微机电系统（MEMS）微构件动态特性的测试中，激励是基本环节，通过激励使微构件振动，并测量和分析振动响应信号，实现对微构件动态特性的测试。由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高，限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用。目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法，根据实现激励的方式不同，归纳为三类：利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法，具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点，并对各种激励方法的特点进行了比较和分析。

为了检测装备的机械结构损伤情况，采用模态参数进行识别分析。设计了一种用于单输入多输出方法的模态参数测试系统，给出了系统硬件结构及部分软件。该系统采用了多控制器方案，能够按照使用要求输出激励和并行采集数据，实现数据的海量存储。该系统具有通用性，可以用于多种用途。