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自基准哈特曼波前测量装置的研制

作者: 刘春阳 朱秋东 来源:光学技术 日期: 2023-07-13 人气:20
自基准哈特曼波前测量装置的研制
采用自基准哈特曼径向斜率测量原理,设计了旋转加摩擦线性移动扫描机构,对被测波前进行连续极坐标扫描采样;用CCD相机采集光斑图像,经波面径向斜率计算和泽尼克径向斜率多项式最小二乘拟合,求出被测波面的泽尼克系数和波前畸变值。与干涉仪测量结果进行了比较,所以研制的波前测量装置可满足大口径光学系统的像质测量。
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