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> 微型迈克尔逊干涉仪
用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建
作者:
孟迎军
华敏
来源:
南京理工大学学报:自然科学版
日期: 2024-04-11
人气:25
该文介绍了一种用半导体激光器构建微型迈克尔逊干涉仪的方法.这种方法能应用于微振动的精确测量.实验证明,用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜,并且具有很高的灵敏度和准确度.
关键词:
构建
微型迈克尔逊干涉仪
振动传感器
微振动测量
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