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用动态全积分法提高圆分度精度

作者: 叶大华 叶盛祥 来源:光电工程 日期: 2023-07-06 人气:25
用动态全积分法提高圆分度精度
论述了动态全积分法的基本原理和误差分析,比较了几种基本结构和信号处理方法的优缺点,对实现方法的关键技术进行了讨论。组合装配成原理实验装置,并作了三个对比实验,取得了较好的初步结果。实验表明动态全积分法能很好地消除光栅刻划误差及偏心的影响,提高了圆分度精度。此法适用于高精度测量系统。
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