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用动态全积分法提高圆分度精度
作者:
叶大华
叶盛祥
来源:
光电工程
日期: 2023-07-06
人气:25
论述了动态全积分法的基本原理和误差分析,比较了几种基本结构和信号处理方法的优缺点,对实现方法的关键技术进行了讨论。组合装配成原理实验装置,并作了三个对比实验,取得了较好的初步结果。实验表明动态全积分法能很好地消除光栅刻划误差及偏心的影响,提高了圆分度精度。此法适用于高精度测量系统。
关键词:
光栅刻划
圆光栅
编码度盘
积分法
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