应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量，测量精度可达0．013″。与采用自准直仪、激光干涉小角度测量仪的测量方法相比较，测量精度有较大幅度的提高。与测长设备－光栅尺结合使用，可同时高精度测量导轨俯仰和偏摆两方向上的直线度。

要提高自准直仪的准确度,首先要提高分辨力。为了能有效地提高分辨力,采用了在自准直仪光路中加入放大光路,对自准直像及其位移量进行放大的方法。通过样机研制,自准直仪的最小显示值达0.001″,含示值跳动量的分辨力小于0.005″,在±10″测量范围内的示值误差为±0.01″,在±50″全量程的示值误差为±0.02″。自准直光路中增加光学放大环节,能有效地提高自准直仪的分辨力,而且对静态和动态数字式自准直仪都能适用。