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> 微型真空传感器
电容式微型真空传感器在真空绝热板生产中的应用
作者：
程柏文
汤达斌
冯勇建
来源：
中国仪器仪表
日期： 2023-05-17
人气：17
介绍一种基于电容式微型真空传感器的真空度检测系统.系统利用PIC系列单片机对真空绝热板真空度进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求.
关键词：
微型真空传感器
真空绝热板
电容-电压转换器
PIC单片机
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