本文在分析介绍了激光干涉仪测量位移原理的基础上，指出了标准振动台稳态正弦绝对校准法中，激光干涉仪测量的只是工作台面运动的路程而非矢量位移，因此对于测量含有谐波失真的正弦波形将引入测量原理性误差。文中利用波形加速度失真度系数详细推导并给出了谐波失真所引入的测量误差的估计式，对准确评价传感器校准精度具有重要意义，同样也有助于我们对激光干涉仪测量精度的认识。