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> 双晶片悬臂梁
压电结构电/气转换器技术研究
作者:
李东明
孙宝元
王伟
来源:
化工自动化及仪表
日期: 2024-01-31
人气:27
通过压电执行器的选择,压力腔和节流孔尺寸的计算,设计了一种基于开关原理新结构压电微型阀,通过主控制电路设计,研发出一种基于压电微型阀结构的新型电子式电/气转换器,并对转换器整机的性能进行测试,为我国自主研发新一代电/气转换器、定位器打下了基础。
关键词:
电/气转换器
压电阀
压电执行器
双晶片悬臂梁
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