配扫描电子显微镜的波长色散X射线谱仪(简称WDX或WDS),近来在微观分析领域吸引较多的关注.这其中很大原因是新一代高精度自动聚焦平行光X射线波谱仪的推出.这种波谱仪具有独特紧凑型设计,尺寸小;去掉了传统的罗兰圆光学系统,结构较简单;与扫描电镜的接口和能谱仪的接口一样大,可以安装在绝大多数的扫描电镜上.

伴随着计算机技术的迅速发展，在近15年中x射线能谱仪及其分析方法突飞猛进。从1984年开始第三代的能谱仪间世，虽然它不仅可从事微区元素分析，而且可以进行图像处理和图象分析，成为发展最快使用最广的微区分析仪器。但是在超轻元素的分析、对谱线重叠的元素的定性分析、图像处理和图像分析的功能和速度方面还存在一系列间题有待改进。