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> 激光微位移测量
基于PSD的高精度激光校准仪的设计
作者:
焦国华
李育林
胡宝文
来源:
传感器与微系统
日期: 2023-05-05
人气:21
针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了系统的精度和稳定性。回转式校准仪的偏移测量范围为±4mm,分辨力为1.5μm、精度为5,5μm。可以广泛用于精确轴系校准和定位。
关键词:
激光微位移测量
激光校准
位置敏感探测器
轴系校准
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