为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测，发展了斜入射检测方法，增大投射到待测镜上光斑的尺寸，从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜人射法检测平面反射镜面形的公式，并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124mm×42mm的平面反射镜分别在垂直和不同斜入射角条件下进行了测量，垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根（RMS）和峰谷（PV）值分别为16．3nm和67．8nm，斜入射时测得镜子工作表面的面形起伏高度RMS和PV值分别为16．8nm和68．7nm，相对误差分别为3％和0．9％，可以满足第三代同步辐射光束线的要求。

提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV（Peak Valley）值，二者的差值除以待测标准平面镜的直径，其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度。通过测量与误差分析，验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1μrad（0．2^n），而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关，移动距离越大，产生的误差越大，但其相对误差小于1％。本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜（EUT）0.8＂的角分辨率的要求。