为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验，研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选，确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器，设计精度为PV：0．008 2λ，RMS：0．0029λ（λ=632．8nm）。采用会聚光束，使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测，最终检测结果为0．022λ（RMS）。所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性，设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计。采用该方法提高了凸非球面检测精度，并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间，为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础。

为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅（SiC）反射镜，对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积（IBAD）Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积（IBAD）Si的改性方法。然后，采用氧化铈（CeO2）、氧化铝（Al2O3）以及二氧化硅（SiO2）等各种抛光液对离子束辅助沉积（IBAD）Si的碳化硅样片进行抛光实验。最后，在上述实验的基础上，采用计算机控制光学表面成型（CCOS）技术对尺寸为650mm×200mm的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工。实验结果表明：CeO2抛光液的抛光效率较高；使用SiO2抛光液抛光后的样片表面质量最好；表面改性离轴非球面碳化硅反射镜加工后的最终检测结果为：实际使用171径内的面形精度（RMS值）为0．016λ（λ=0．6328μm），表面粗糙度...