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质谱熔样系统的研究与改进

作者: 卢慧卿 王宝光 晁中元 李亚标 来源:光学精密工程 日期: 2023-04-23 人气:38
质谱熔样系统的研究与改进
为了提高质谱仪熔样系统的熔样精度、效率和自动化程度,以惰性气体同位素质谱仪为实验对象,对熔样系统的智能化进行研究。完成了激光熔样系统中二维样品台的重新设计,石墨炉进样系统的自动化设计。设计了一系列控制子程序,并对视觉系统进行了标定。标定后的激光熔样系统有很高的精度,重复性误差为0.005mm。实验结果表明,改造后的熔样系统有很好的稳定性,提高了效率。
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