用于非球面通用化检测的部分零位透镜
非球面的非零位法检测高效快速,并可实现较高精度的通用化检测。介绍了一种可用于非球面非零位检测中降低检测光波前斜率的部分零位透镜。该透镜具有较大的球差,可以显著补偿被测非球面的纵向法线像差,使得返回的检测光波前能够被探测器分辨。论述了部分零位透镜的设计过程,特别是约束控制条件以及初始结构的选取原则,并就相对口径为.f/2和.f/1.5的两个抛物面给出了设计实例。设计结果表明:该部分零位透镜可以对一定口径和相对口径范围内的非球面实现部分零位补偿。利用一系列部分零位镜将可以对较大范围内的非球面进行补偿,从而实现常见非球面的通用化检测。该研究对非球面的通用化检测具有重要意义。
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