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> 微缝宽度
基于CCD的微缝宽激光测量系统的改进
作者:
赵育良
许兆林
来源:
红外与激光工程
日期: 2023-04-22
人气:22
提出了以激光为光源的微缝宽度测量系统的新方法。从理论和实验上对几种影响激光衍射法测量微缝宽度的因素进行了研究,井以正交CCD组作为接收元件,改进了测量系统。与传统测量方法相比,不再有测量距离的不确定及CCD定位等问题。测量过程实现了非接触、高精度在线测量,系统性能稳定。
关键词:
微缝宽度
夫琅和费衍射
CCD
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