针对ＤＸＳ－１０Ａ扫描电镜成像过程中，影响成像质量的相关因素，从样品及样品制备工艺、真空系统、电子光学系统、讯号接收系统等方面进行了分析，并就成像相关因素的处理方法进行了讨论