电镜真空系统的自动控制一般采用逻辑电路控制和微机控制。在目前国内所拥有的进口电镜中，都是采用逻辑控制。我们在研制DXS一3型高性能扫描电镜中对这两种控制方法进行了分析，我们认为:微机控制采用的是大规模集成电路，电路简单，成本较低，维修方便;由于采用的软件控制，故能够灵活地设置抽气状态，且通用性强。