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> 刘锦
微机电系统技术的发展趋势研究
作者:
刘锦
来源:
机电产品开发与创新
日期: 2023-02-24
人气:5
微机电系统技术作为新的技术领域,已经显示出强大的生命力。本文分析了微机电系统的内涵以及分类,指出了微机电系统的发展趋势和面临的主要挑战。
关键词:
微机电系统
发展趋势
MEMS
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