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超光滑表面的微分散射测量
作者:
陈天明
孙荣明
来源:
现代科学仪器
日期: 2022-09-17
人气:4
超光滑表面反射镜是激光陀螺中的关健器件,镜片的粗糙度引起的散射光直接影响陀螺的闭锁闲值,因而研究超光滑表面的加工和检测有着重要的应用价值。本丈比较了超光滑表面的各种测试方法,提出了一种徽分散射测量方法,用光子计数器作徽弱散射光的接收器,浏童散射平面内一900~900范围内的散射光强度分布,光子计数器的探刻范围在10-11一10一16W,微分散射测童系统的浏1重复精度为士10%。
关键词:
超光滑表面
微分散射
表面粗糙度
测量系统
散射光强度
激光陀螺
测量方法
闭锁阈值
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