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偏置电压对电容式微机械加速度计的影响研究

作者: 胡雪梅 马林 郭素娜 马瑛 来源:武汉理工大学学报 日期: 2023-08-04 人气:3
偏置电压对电容式微机械加速度计的影响研究
分析了偏置电压对系统的影响,重点研究不同偏置电压设置对电容加速度计的影响,得到一系列变化曲线。最后指出偏置电压极性为正一负设置时,加速度计承受冲击的能力最强。
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