碳纳米管具有小的半径、高的长径比、高的弹性模量和弯曲强度和导电特性,这使得它很适合做原子力显微镜探针进行高分辨率测试和纳米级加工,并使加工的纳米点、线和复杂图形在加工过程中保持比较一致的形状和高的纵横比.文中提出了一套制备碳纳米管探针的热丝化学气相沉积(HF-CVD)装置,叙述了HF-CVD的原理、装置以及在纳米加工上的应用.