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基于线阵CCD的微位移测量系统设计

作者: 郭荣礼 胡小英 胡加兴 刘宝元 来源:机电产品开发与创新 日期: 2022-07-11 人气:4
基于线阵CCD的微位移测量系统设计
提出了一种新的微位移测量的方法,该方法采用多次反射光学放大法对微小位移进行放大,用线阵CCD实现对物体位移前后光斑位置的采集,通过计算机将数据处理即可得到微小位移量。理论分析表明,该方案的测量精度可以达到2.8nm。
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