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基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性实验研究

作者: 陈非凡 李云龙 殷玲 乔力争 来源:仪器仪表学报 日期: 2023-02-06 人气:4
基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性实验研究
 本文叙述了一种基于MOEMS技术的微型可编程相位光栅的原理性实验结果,并与数值仿真结果进行了比较,验证了这种光栅技术理论的正确性和技术的可行性、优越性。
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