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基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性实验研究
作者:
陈非凡
李云龙
殷玲
乔力争
来源:
仪器仪表学报
日期: 2023-02-06
人气:4
本文叙述了一种基于MOEMS技术的微型可编程相位光栅的原理性实验结果,并与数值仿真结果进行了比较,验证了这种光栅技术理论的正确性和技术的可行性、优越性。
关键词:
可编程相位光栅
微光机电系统(MOEMS)
光谱技术
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