采用微小型自适应光学系统提高系统的分辨率具有非常广泛的应用前景。建立了基于Hartmann技术的波前处理机系统,利用MEMS微变形镜进行波前校正并对结果进行了分析,验证了利用微小自适应光学系统校正畸变波前的科学性,给出了建立实用高分辨率传输型微小自适应光学系统的可行性建议。