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> 李锡善
Φ360mm激光平面干涉仪
作者:
李锡善
梁景芳
来源:
光学仪器
日期: 2023-03-16
人气:2
为了强激光工程的需要,研究制造了一台口径360mm卧式激光平面干涉仪。仪器的测量精度为λ/20,仪器配有CCD相机图像处理系统,可目测,可拍摄照片,也可进行化处理,实用结果表明,该仪器是一台适合于光学车间生产检验的大口径高精度激光平面干涉仪。
关键词:
干涉仪
光学测量
激光平面干涉仪
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