本研究把传统光学方法与现代数字化图象技术相结合，运用先进的数字化图象处理手段和Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图象的计算，并在理论上有较大的突破，从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定.本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了λ／100，灵敏度为λ／1000.