磁光调制锁相椭偏仪与多层磁光薄膜测试系统
磁光调制锁相椭偏仪采用交流法拉第磁光调制及相敏检波来检测消光点,具有抗干扰能力强,角分辨能力高等优点。本文采用了自制的关键部件:“高线性法拉第磁光调制器”与反馈电路来寻找消光点,实现了小角度偏转数字显示,具有速度快,准确性高的特点,而且使国产椭偏仪的角分辨由0.1°提高至0.01°,达到国外消光椭偏仪的水平。而且该椭偏仪的研制成功对国产磁光盘质量提高具有极大的促进作用。
磁性微电子机械系统(MMEMS)中的关键问题
磁性微电子机械系统(MMEMS)是在传统的微电子机械系统(MEMS)基础上发展的,它在科学研究及应用领域中有着巨大的潜力.磁性材料和MEMS技术的兼容性问题此前已作为一个重要的问题论述过.本文就磁性MEMS技术中的线圈制作、软磁膜制备及硬磁膜制备等关键性问题加以概述.
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