研究了电子探针在6063铝合金均匀化处理中的应用，6063铝合金试样经过不同的均匀化处理工艺后，通过电子探针对其第二相形态、数量以及分布状态进行观察，得到对应的二次电子图像（SEI）以及铁、硅、镁元素的面扫描照片，由于铁、硅的扩散程度较低，故主要通过观察均匀化处理前后镁元素的分布图和SEI形貌图，同时结合能谱仪（EDS）分析合金的微区化学成分及第二相粒子的化学成分，来判断其均匀化处理工艺的优劣。