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二维位敏传感器PSD在同轴度精密测量中的应用

作者: 邓丰涛 陶德馨 孙世基 来源:网络 日期: 2023-11-25 人气:11
二维位敏传感器PSD在同轴度精密测量中的应用
介绍了新型光电位置敏感器件PSD的工作原理、适用范围及其信号检测与处理电路,提出了一种基于PSD检测系统及其在空间同轴度测量中的实现方法.实验结果表明:检测系统测量精度高、可靠,能满足工程轴系同轴度检测需要.
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