利用压电材料具有正逆压电效应的特性，设计制作了压电式自感知微驱动器，同时实现了在一个器件中传感与驱动两种功能。通过Matlab软件仿真和实验，对该方法的正确性和可行性进行了验证，结果显示该方法可行，效果良好。