针对大平面度测量，设计一种新的平面度测量系统，该系统摒弃了高精度大平面度测量所需要的高精度导轨、高精度光学平面等，而是以液面作为一个平面基准，用干涉仪标定出测量系统的系统误差，然后用接触式传感器测量被测件，再进行误差分离，将系统误差从测量误差中分离出去，从而达到对大平面度的高精度测量。