研究了激光共焦扫描显微镜（LSCM）在微结构分析中的应用，综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能，使其可用于大角度测量；与图像处理系统相结合，便于微结构的定性和定量分析；而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能。实验结果表明：运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°；在悬臂梁的形貌分析中，可获得清晰的三维形貌，同时通过二维定量分析精确测得其形变为3．145μm；在100×物镜下，运用拼接功能获得384μm×288μm的视场面积，解决了高放大倍数下，在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题。LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足，提升了微机电系统的测试水平。