随着科学技术的发展，光学元件和工程陶瓷等先进材料得到广泛应用，迫切需要解决传统磨削加工硬脆性材料效率低与质量差等难题。相关研究已经证实，椭圆形超声振动辅助磨削（EUAG）方法能够实现硬脆性材料的低损伤和低应力去除。本文基于行波型超声电动机的原理，利用ANSYS有限元软件进行建模、模态分析及灵敏度分析，实现了椭圆形超声振动换能器结构参数的优化设计，并对优化模型进行了谐响应分析，得到了在相应激励下换能器椭圆振动长短轴方向的振幅值。本文利用ANSYS软件，成功优化设计了椭圆形超声振动换能器，为实现EUAG技术奠定了基础。