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PZT铁电厚膜声纳换能器
作者:
夏冬林
刘梅冬
来源:
电子元件与材料
日期: 2023-09-02
人气:16
综述了PZT厚膜单元声纳换能器和8×8阵列声纳换能器的制备方法、结构和性能,并介绍了PZT厚膜声纳换能器的应用及发展前景。该厚膜是利用改进的sol-gel工艺制备的,厚度为4 ̄12μm。4μm厚的PZT厚膜的纵向压电系数d33为140 ̄240pC/N,剩余极化强度Pt为28×10^-6C/cm^2,矫顽场强Ec为30×10^3V/cm,相对介电系数εr为1400。
关键词:
PZT
铁电厚膜
声纳换能器
压电效应
灵敏度
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