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自动聚焦的光电精密装置指示灵敏度的提高

作者: 李蓉芳 来源:光机电信息 日期: 2023-07-27 人气:12
自动聚焦的光电精密装置指示灵敏度的提高
<正> 在监控面平行平板和干涉仪器、天文仪器、测量仪器及其它一些高精度光学仪器时,必须以高精度确定焦平面的位置,要求采用特殊的方法和接收器,这种接收方式以特殊的指示方法和各种形式的接收器灵敏度为基础.在这些测量中采用眼睛导致主观上的误差,所谓“个人误差”,它是在操作者长时间工作的情况下产生的,因此有必要采用客观的高精度和自动化的测量方法和仪器.
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