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> 李万福
石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜
作者:
严晖
胡焕林
孙嵩泉
李万福
来源:
真空
日期: 2023-07-23
人气:13
讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理.通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较,证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质.试验表明所镀膜层的光学性能优异,在光通信和激光器等领域具有广阔的应用前景.
关键词:
石英晶体监控法
光学薄膜
镀膜
光学性能
原理
振荡
相位
沉积
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