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> 何祖斌
移相干涉仪的抗振技术研究进展
作者:
何祖斌
许乔
柴立群
邓燕
来源:
光学技术
日期: 2023-07-23
人气:23
在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中,移相干涉测量技术有着广泛地应用。但是,光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻,环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响。提高移相干涉仪的抗振性很有必要,受到广泛重视。国际上移相干涉仪的抗振技术主要包括主动抗振和被动抗振两方面,两种技术具有各自特点。
关键词:
光学测量
振动
移相干涉仪
抗振技术
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