碧波液压网 欢迎你,游客。 登录 注册

移相干涉仪的抗振技术研究进展

作者: 何祖斌 许乔 柴立群 邓燕 来源:光学技术 日期: 2023-07-23 人气:23
移相干涉仪的抗振技术研究进展
在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中,移相干涉测量技术有着广泛地应用。但是,光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻,环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响。提高移相干涉仪的抗振性很有必要,受到广泛重视。国际上移相干涉仪的抗振技术主要包括主动抗振和被动抗振两方面,两种技术具有各自特点。
    共1页/1条