<正> 超精密加工是在用金刚石刀具对软质金属、无电解镍、晶体等材料的镜面加工中发展起来的。其中,在微槽加工领域,利用了金刚石刀具微细而锋利的切削刃。 作为微细加工的实例,本文介绍利用超精密加工机进行的衍射透镜的加工。

针对用于标定和检测的大型精密转台（要求其定位误差≤±0.5″）,研制了高精度角度微驱动装置。介绍了转台的总体结构,给出了角度微驱动装置的驱动原理和构成。该角度微驱动装置主要通过一个角位移转换机构把精密直线位移转化为精密角位移来实现高的角度分辨率,其在驱动转台旋转的过程中几乎不给转台带来轴向力和径向力,因此不影响转台的轴系精度。为了满足定位要求,转台设计采用了粗精结合、二次定位的方法,即先采用力矩电机进行粗定位,然后使用角度微驱动装置来实现精定位。最后,从理论上计算了角度微驱动装置的分辨率并进行了测试和应用验证,证明此角度微驱动装置的分辨率优于0.08″,满足转台定位精度要求。