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> 余载泉
大范围高分辨率法-珀干涉仪
作者:
余载泉
徐毓娴
徐毅
来源:
光学技术
日期: 2023-07-18
人气:25
法-珀干涉仪有较高的分辨率,但是由于受到激光器模间隔的限制,测量范围较小。介绍了使用换模锁定法对其进行扩展,实现了具有较大测量范围及纳米分辨率和测量精度的法-珀干涉仪,扩展了法-珀干涉仪的测量范围。
关键词:
法-珀干涉仪
纳米测量
扩大测量范围
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