主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜（STM）的新型高精度多功能双用原子力显微镜（AFM）技术及其应用。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用，详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法。该AFM采用简单适用的新型微悬臂。并利用STM检测微悬臂的起伏，通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描，有效提高了扫描精度，扩大了扫描范围。该机型集AFM和STM功能为一体，其中STM可以单独使用。该机型检测精度可达：横向0．1nm，纵向0．01nm。并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究。

设计了一种IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描的三维镜体结构,原子力显微镜通过该结构中的步进驱动系统、压电陶瓷扫描器、微悬臂探针及其调节装置共同实现探针针尖的精确位移控制与扫描检测,该镜体采用样本扫描设置突破了压电陶瓷对扫描范围的限制,可使扫描范围达25mm×25mm,采用装配该三维驱动系统的原子力显微镜进行了云母以及聚酰胺检测实验,实验结果表明,所设计的IPC-208B型大范围扫描三维驱动系统检测精度可达到0.1nm,能够实现纳米级检测扫描,该设计提高了AFM检测实验的可操作性和效率,降低了实验成本。