本文提出了具有高分辨率的微位移测量方法，该方法采用频谱分析技术对于干涉条纹进行快速傅里叶变换（ＦＦＴ）和滤波处理，消除了噪声和干扰，获得了清晰的干涉条件，检测处理后的干涉条纹的移动就能准确地测量出位移。采用ＣＣＤ摄像机、图像卡和计算机，结合本文设计的麦克尔逊干涉仪对压电晶体（ＰＺＴ）的位移曲线进行了测量。结果表明，该方法能达到极高的分辨率，在总采样点为５１２，连续测量时，最小分辨率达到１．３ｎｍ。