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采用CTD控制电路的二维CMOS风速计研究

作者: 程海洋 秦明 高冬晖 来源:仪器仪表学报 日期: 2023-07-04 人气:22
采用CTD控制电路的二维CMOS风速计研究
介绍了一种二维硅热流量传感器,通过恒温差(CTD)控制模式,能同时测量风速和风向.使用四个串连的热堆测量芯片中心区域的平均温度,这种测温的方法非常简单新颖.在简单介绍CMOS硅热流量传感器的工作原理之后,主要介绍CTD驱动电路.经过风洞测试,该传感器能够测量风速0~23m/s,具有良好的线性度,并且360°方向敏感.
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